Spécifications complètes

OPAL-MD - Station de test automatisée multi-puces

Aperçu
Test précis, automatisé et rapide des circuits intégrés photoniques (PIC) avec des résultats traçables.

Caractéristiques principales

  • Caractérisation PIC multi-puces en une seule exécution
  • Conception flexible avec des sondes reconfigurables
  • Suite logicielle unique pour la préparation, l'exécution et l'analyse des données de test PIC
  • Fonctionne avec le testeur de composants optiques EXFO et d'autres équipements de test
  • Têtes optiques ultra-précises - idéales pour le couplage de surface et de bord
  • Positionneurs de sonde DC et RF précis

Applications

  • Sondage optique et électrique de la photonique intégrée et tests de puces multiples
  • Tests optoélectroniques sur toutes les plateformes photoniques intégrées : photonique au silicium, phosphure d'indium, III-V, polymère, hétérogène, etc.
  • Agnostique en termes d'applications : transpondeurs télécom et de transmission de données, quantum, LIDAR, capteurs, IA, etc.
  • Production pilote
  • Validation de la conception et du processus
  • Vérification de la matrice MPW

Spécifications

Spécifications techniques
Une station de test OPAL-MD standard comprend un système de mouvement de platine de mandrin OPAL-MD-100, un mandrin TA, un système de vision supérieure et latérale, un PC avec licence logicielle EXFO Pilot et des accessoires.
SYSTÈME DE MOUVEMENT DE LA PLATINE DU MANDRIN – OPAL-MD-100 (Mécanique)
Axe X, axe Y – Plage de déplacement (mm) 100
Axe X, axe Y – Résolution (μm) 0,15
Axe X, axe Y – Précision, typique (μm) 1
Axe X, axe Y – Répétabilité bidirectionnelle, typique (μm) 1
Axe X, axe Y – Vitesse maximale du processus (mm/s) 20
Axe X, axe Y – Type de moteur Roulement à billes, moteur pas à pas
Axe Z – Plage de déplacement (mm) 4,8
Axe Z – Résolution (μm) 0,06
Axe Z – Précision, typique (μm) 0,6
Axe Z – Répétabilité bidirectionnelle, typique (μm) 0,1
Axe Z – Vitesse maximale (mm/s) 5
Axe Z – Type de moteur Roulements linéaires à billes, moteur à courant continu
Axe Rz – Gamme de voyage 15°
Axe Rz – Résolution 0,9 arcsec; 0,00025°
Axe Rz – Précision, typique 36 arcsec; 0,01°
Axe Rz – Répétabilité bidirectionnelle, typique 9 arcsec; 0,0025°
Axe Rz – Vitesse maximale (degrés/s) 20
Axe Rz – Type de moteur Roulements à rouleaux croisés, moteur pas à pas
MANDRIN
Nom de l'option TA-F; TH1-G/F
Zone de travail (mm) 100 × 100, carré (TA-F et TH1-G/F)
Plage (TA-F) Ambiant
Plage (TH1-G/F) Point de rosée (>0 ºC) (32 °F) à 120 ºC (248 °F)
Résolution (TA-F) -
Résolution (TH1-G/F) 0,01 °C (32 °F)
Stabilité (TA-F) -
Stabilité (TH1-G/F) 0,05 °C (32 °F)
Taux de chauffage (TA-F) -
Taux de chauffage (TH1-G/F) 20 °C/min (68 °F/min)
Taux de refroidissement (TA-F) -
Taux de refroidissement (TH1-G/F) –10 °C/min (14 °F/min)
Zones de vide (TA-F et TH1-G/F) 4 zones indépendantes
Raccordement électrique (TA-F) Flottant (F)
Raccordement électrique (TH1-G/F) Mise à la terre (G)/Flottant (F)
SYSTÈME DE VISION DU DESSUS – Support de base mécanique
Montage Compatible avec les cartes optiques métriques et impériales, à 90° et 45°
Plage de déplacement des axes X, Y, Z (mm) 48
Déplacement/révolution des axes X et Y (mm) 1,41
Déplacement/révolution de l'axe Z (mm) 0,3175
SYSTÈME DE VISION DU DESSUS – Système de vision
Grossissement (X) 10
Ouverture numérique 0,28
Profondeur de champ (μm) 3,6
Champ de vision horizontal (mm) 0,88
Distance de travail (mm) 34
Résolution (MP) 2,9
Fréquence d'images maximale (fps) 144
Format du capteur (pouces) 2/3
Type de capteur Couleur, obturateur global, 12 bits
Longueur d'onde Visible
Type d'éclairage Unité de microscope vidéo en ligne, éclairage LED
SYSTÈME DE VISION LATÉRALE – Support de base mécanique
Positionnement mécanique Ajustement grossier manuel 6D avec bras articulé, translation manuelle XY
Montage Compatible avec les cartes optiques métriques et impériales, à 90° et 45°
Plage de déplacement des axes X, Y (mm) 48
Déplacement/révolution des axes X et Y (mm) 1,41
SYSTÈME DE VISION LATÉRALE – Système de vision
Type d'objectif Télécentrique
Grossissement a (X) 3
Ouverture numérique 0,093
Champ de vision horizontal (mm) 0,88
Distance de travail b (mm) 65
Plage de longueurs d'onde Visible
Résolution (MP) 2,9
Fréquence d'images maximale (fps) 144
Format du capteur (pouces) 2/3
Type de capteur Couleur, 12 bits, obturateur global
Longueur d'onde Visible
TÊTE OPTIQUE a – Options PRO-H / PRO-S / PRO-ECO
Axe motorisé (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) X, Y, Z, Rx, Ry, Rz / X, Y, Z, Rx, Ry, Rz b / X, Y, Z, Rx, Ry, Rz c
Configuration (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) Hexapode parallèle, piézo / Pile en série, servo CC / Pile en série, vis
Trajectoire de l'axe X (mm) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 20 / 25 / 25
Trajectoire de l'axe Y (mm) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 11 / 25 / 25
Trajectoire de l'axe Z (mm) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 20 / 4,8 / 12,5
Résolution de l'axe X (nm) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 1 / 10 / 200
Résolution de l'axe Y (nm) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 1 / 10 / 200
Résolution de l'axe Z (nm) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 1 / 60 / 25
Répétabilité de l'axe X (nm) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) Unidirectionnel : 50 / Bidirectionnel : 70 / Bidirectionnel : 1250
Répétabilité de l'axe Y (nm) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) Unidirectionnel : 50 / Bidirectionnel : 70 / Bidirectionnel : 1250
Répétabilité de l'axe Z (nm) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) Unidirectionnel : 50 / Bidirectionnel : 250 / Bidirectionnel : 125
Course de l'axe Rx (º) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 23 / 10 / 10
Course de l'axe Ry (º) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 38 / 10 / 10
Course de l'axe Rz (º) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 26 / 10 / 10
Résolution de l'axe Rx (arcsec) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 0,04 / 4 / 4
Résolution de l'axe Ry (arcsec) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 0,04 / 4 / 4
Résolution de l'axe Rz (arcsec) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) 0,04 / 4 / 4
Répétabilité de l'axe Rx (arcsec) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) Unidirectionnel : 1,5 / 7 / 7
Répétabilité de l'axe Ry (arcsec) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) Unidirectionnel : 1,5 / 7 / 7
Répétabilité de l'axe Rz (arcsec) (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) Unidirectionnel : 1,5 / 7 / 7
Point de pivot virtuel complet (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) Oui / Non / Non
Orientations (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) Nord/Est/Sud/Ouest / Nord/Est/Sud/Ouest / Nord/Est/Sud/Ouest
Inclus c (PRO-H / PRO-S / PRO-ECO) Support de fibre / Support de fibre / Support de fibre
TÊTE ÉLECTRIQUE – Options PRE-00 / PRE-MO
Type d'étapes de traduction (PRE-00 / PRE-MO) Manuel / X, Y, Z motorisés, angle de sonde manuel
Plage de déplacement des axes X, Y (mm) (PRE-00 / PRE-MO) 48 / 50
Plage de déplacement de l'axe Z (mm) (PRE-00 / PRE-MO) 48 / 25
Résolution des axes X, Y, Z (nm) (PRE-00 / PRE-MO) - / 100
Répétabilité des axes X, Y et Z (μm) (PRE-00 / PRE-MO) - / 1, bidirectionnel, typique : 0,3
Précision des axes X, Y et Z (μm) (PRE-00 / PRE-MO) Typique : 2 / 5
Vitesse des axes X, Y, Z (mm/s) (PRE-00 / PRE-MO) - / 5
Déplacement/révolution des axes X, Y, Z (mm/rév) (PRE-00 / PRE-MO) 0,3 / -
Course d'inclinaison (PRE-00 / PRE-MO) 10° / 10°
Système de rail – Course X (mm) (PRE-00 / PRE-MO) 180 / 160
Course de l'échelon grossier Z (mm) (PRE-00 / PRE-MO) Min : 6,35; Max : 56 / Min : 12,5; Max : 100
a. D'autres plages de température sont disponibles sur demande. b. Des modèles et des zones de vide personnalisés sont disponibles sur demande. c. Des plaques d'adaptation au vide génériques et personnalisées sont disponibles sur demande. d. Autres options de connexion électrique disponibles sur demande. a. Autres options de grossissement (0,5X, 1X, 2x, 4X, 6X, 8X) disponibles sur demande. b. D'autres distances de travail (40 mm, 110 mm) sont disponibles sur demande. a. D'autres options et configurations optiques sont disponibles sur demande. b. Différentes configurations sont disponibles. Les axes X, Y et Z sont toujours motorisés et les angles peuvent être motorisés, jusqu'à l'ensemble des 6 axes. Les spécifications indiquées ici concernent tous les axes motorisés, la course peut être différente pour la version manuelle. c. Plusieurs options sont disponibles pour les configurations de couplage de surface et de bord, plusieurs angles sont disponibles.
Spécifications générales
SPÉCIFICATIONS GÉNÉRALES – SYSTÈME PRINCIPAL
Taille (H × L × P) 1500 mm × 1095 mm × 945 mm (59 po × 43 1/8 po × 37 1/4 po)
Poids (kg) a 350 kg (771,6 lb)
Environnement opérationnel b À utiliser dans un environnement propre pour éviter les variations de température, les vibrations, l'humidité et la poussière
Base Châssis de base avec isolation passive contre les vibrations, boîtiers et pieds
Nombre maximal de têtes électriques ou optiques Jusqu'à 4
Plaque d'éveil optique Grille de trous de montage filetés M6, espacement des trous de 25 mm, anodisé noir pour réduire les reflets
Ordinateur de bureau 4U rackmount industriel, Intel i7 CPU, 64 GB RAM DDR5, 1 TB SSD, Nvidia RTX 4060 GPU, 3 ports Ethernet (10 + 2.5 + 1 Gbit/s), multiples ports USB, slots PCIe additionnels, Windows 11 Pro, souris et clavier inclus
Écran 1 × 27 pouces
Câbles, alimentation, entraînement, contrôleurs Tous inclus
Ports de communication supplémentaires sur la station de base pour l'équipement Ethernet Cat 6 RJ54, USB-A 3.0
Remarque : Utilisez le système dans un environnement à faibles vibrations. Des vibrations excessives du sol ou de l'acoustique peuvent avoir un impact négatif sur les performances du système. Bien que la base de la station comprenne un système d'isolation passive des vibrations, le niveau de vibration attendu pour le fonctionnement de l'OPAL-MD-100 doit être égal ou inférieur à la courbe des critères de vibration VC-A pour obtenir les meilleures performances, en particulier pour l'alignement de l'accouplement de bord. La vitesse doit être inférieure à 50 μm/s, lorsqu'elle est mesurée par les bandes de tiers d'octave de fréquence sur 8 à 80 Hz. À ce niveau, les vibrations ne sont pas perceptibles. Sinon, contactez-nous pour plus d'informations sur un système actif d'amortissement des vibrations. a. La masse exacte du système principal dépend de la configuration choisie. b. Utilisez le système dans un environnement contrôlé. Les variations de température de l'environnement dégraderont les performances.