| Stade de positionnement des plaquettes – axe XY (OPAL-EC-300) | Plage de déplacement : 300 mm; Résolution : 0,003 μm; Précision : 0,75 μm; Répétabilité bidirectionnelle : 0,1 μm; Vitesse maximale du processus : 100 mm/s; Orthogonalité : 1 arcsec; Type de moteur : moteurs linéaires à entraînement direct, codeur sans contact. |
| Stade de positionnement des plaquettes – axe Z (hauteur) | Plage de déplacement : 5 mm; Résolution : 0,0008 μm; Précision : 1,5 μm; Répétabilité bidirectionnelle : 0,3 μm; Vitesse maximale : 4 mm/s; Type de moteur : moteur linéaire sans balais à entraînement direct. |
| Stade de positionnement des plaquettes – axe Rz (rotation de la plaquette) | Gamme de voyage : 105°; Résolution : 0,36 arcsecondes ; 0,0001°; Précision : 80 arcsecondes ; 0,02°; Répétabilité : 3 arcsecondes ; 0,0008°; Vitesse maximale : 600 tr/min; Type de moteur : moteur rotatif sans balais à entraînement direct, palier mécanique. |
| Chuck – options TA-G / TH5-G / TH5-F | TA-G : gamme (°C) : ambiant; mandrin rond de 300 mm avec 4 zones de vide concentriques; surface électrique : enraciné. TH5-G : gamme (°C) : 0 - 150; résolution (°C) : 0,01; stabilité (°C) : ±0,05 (> 25) et ±0,1 (< 25); taux de chauffage : 40 °C/min; taux de refroidissement : –5 °C/min; planéité de la surface : < 25 μm; mandrin rond de 300 mm avec 4 zones de vide concentriques; surface électrique : enraciné. TH5-F : gamme (°C) : 0 - 150; résolution (°C) : 0,01; stabilité (°C) : ±0,05 (> 25) et ±0,1 (< 25); taux de chauffage : 40 °C/min; taux de refroidissement : –5 °C/min; planéité de la surface : < 25 μm; mandrin rond de 300 mm avec 4 zones de vide concentriques; surface électrique : coaxial flottant (triaxial en option). |
| Système de vision du dessus | Support de base mécanique : montage compatible avec les cartes optiques métriques et impériales, à 90° et 45°; plage de déplacement des axes X, Y, Z : 48 mm; déplacement/révolution des axes X et Y : 1,41 mm; déplacement/révolution de l'axe Z : 0,3175 mm. Système de vision : grossissement 10X; ouverture numérique 0,28; profondeur de champ 3,6 μm; champ de vision horizontal 0,88 mm; distance de travail 34 mm; résolution 2,9 MP; fréquence d'images maximale 144 fps; format du capteur 2/3 pouce; type de capteur : couleur, obturateur global, 12 bits; longueur d'onde : visible; type d'éclairage : unité de microscope vidéo en ligne, éclairage LED. |
| Système de vision latérale | Support de base mécanique : positionnement mécanique avec réglage grossier manuel 6D, bras articulé, platine de translation manuelle XY; montage compatible avec les cartes optiques métriques et impériales, à 90° et 45°; plage de déplacement des axes X, Y : 48 mm; déplacement/révolution des axes X et Y : 1,41 mm. Système de vision : objectif télécentrique; grossissement 3X; ouverture numérique 0,093; champ de vision : 2,9 × 2,2 mm; distance de travail 65 mm; plage de longueurs d'onde : visible; résolution 2,9 MP; fréquence d'images maximale 144 fps; format du capteur 2/3 pouce; type de capteur : couleur, 12 bits, obturateur global; longueur d'onde : visible. |
| Tête optique – options PRO-H / PRO-S / PRO-ECO | Axes motorisés : X, Y, Z, Rx, Ry, Rz (PRO-H) / X, Y, Z, Rx, Ry, Rz (PRO-S, configurations variables) / X, Y, Z, Rx, Ry, Rz (PRO-ECO). Configuration : hexapode parallèle, piézo (PRO-H); pile en série, servo CC (PRO-S); pile en série, vis (PRO-ECO). Trajectoires (mm) : axe X : 20 / 25 / 25; axe Y : 11 / 25 / 25; axe Z : 20 / 4,8 / 12,5. Résolution des axes X, Y, Z (nm) : 1 / 10 / 200 (X, Y); 1 / 60 / 25 (Z). Répétabilité (nm) : axe X : unidirectionnel 50; bidirectionnel 70; bidirectionnel 1250; axe Y : unidirectionnel 50; bidirectionnel 70; bidirectionnel 1250; axe Z : unidirectionnel 50; bidirectionnel 250; bidirectionnel 125. Courses angulaires (Rx, Ry, Rz) : 23°/38°/26° (PRO-H); 10°/10°/10° (PRO-S, PRO-ECO). Résolution angulaire (arcsec) : 0,04 (PRO-H); 4 (PRO-S, PRO-ECO). Répétabilité angulaire (arcsec) : unidirectionnel 1,5 (Rx, Ry, Rz) pour PRO-H; 7 pour PRO-S et PRO-ECO. Point de pivot virtuel complet : oui (PRO-H); non (PRO-S, PRO-ECO); orientations : Nord/Est/Sud/Ouest; support de fibre inclus. |
| Tête électrique – options PRE-00 / PRE-MO | Nom de l'option : PRE-00 (manuel) / PRE-MO (X, Y, Z motorisés, angle de sonde manuel). Plage de déplacement des axes X, Y : 48 mm (PRE-00) / 50 mm (PRE-MO); plage de déplacement de l'axe Z : 48 mm (PRE-00) / 25 mm (PRE-MO); résolution des axes X, Y, Z : 100 nm (PRE-MO); répétabilité des axes X, Y et Z : 1 μm, bidirectionnel, typique : 0,3 μm (PRE-MO); précision des axes X, Y et Z : typique : 2 μm (PRE-00) / 5 μm (PRE-MO); vitesse des axes X, Y, Z : 5 mm/s (PRE-MO); déplacement/révolution des axes X, Y, Z : 0,3 mm/rév (PRE-00); course d'inclinaison : 10° pour les deux options; système de rail × course : 180 mm (PRE-00) / 160 mm (PRE-MO); course de l'échelon grossier Z : min. 6,35 mm, max. 56 mm (PRE-00); min. 12,5 mm, max. 100 mm (PRE-MO). |
| a. D'autres plages de température sont disponibles sur demande. b. D’autres options de surface électrique disponibles sur demande. a. Autres options de grossissement (0,5X, 1X, 2X, 4X, 6X, 8X) disponibles sur demande. b. D'autres distances de travail (40 mm, 110 mm) sont disponibles sur demande. a. D'autres options et configurations optiques sont disponibles sur demande. b. Différentes configurations sont disponibles. Les axes X, Y et Z sont toujours motorisés et les angles peuvent être motorisés, jusqu'à l'ensemble des 6 axes. Les spécifications indiquées ici concernent tous les axes motorisés, la course peut être différente pour la version manuelle. c. Plusieurs options sont disponibles pour les configurations de couplage de surface et de bord, plusieurs angles sont disponibles. | |
| Dispositif sous test (DUT) | Monopuce jusqu'à une plaquette de 8 pouces pour d'autres stations de la série et, pour l'OPAL-EC, monopuce jusqu'à une plaquette de 12 pouces (300 mm). La station peut tester des puces individuelles, des barres et des puces multiples à l'aide de plaques d'adaptation. |
| Zone de travail (OPAL-EC) | Ф300 mm. |
| Mode de couplage | Couplage surface et bord. |
| Alignement | Automatisation complète. |
| Mandrin (aperçu série OPAL – OPAL-EC) | Ambiante ou 0 °C à 200 °C (32 °F à 392 °F); 4 zones de vide. |
| Platine de rotation | Rotation motorisée : 105°. |
| Configuration des sondes | Sondes optiques et électriques, jusqu'à 4. |
| Logiciel EXFO Pilot (aperçu série OPAL) | L'exécution du plan de test, l'automatisation, l'analyse et une licence sont inclus dans la station. |
| Système principal OPAL-EC – mandrin | Surface en aluminium, polie, température ambiante, mandrin avec 4 zones de vide. Options de connexion électrique de la surface. Mandrin à contrôle thermique avec capacités de chauffage et de refroidissement, plage de 0 °C à 150 °C, 4 zones de vide. |
| Système principal OPAL-EC – base de positionnement des plaquettes | Positionnement haute précision de la plaquette avec 4° de liberté et possibilité de rotation de la plaquette de 105°. Mandrin de 300 mm (12 po) de diamètre et plage de déplacement XY. |
| Système principal OPAL-EC – système de vision | Système vidéo haute résolution de pointe avec grossissement 10X utilisant un éclairage coaxial en ligne et une caméra couleur de 2,9 MP sur réglage manuel XYZ. Caméra couleur 2,9 MP avec vue latérale et grossissement télécentrique 3X sur réglage manuel XY. |
| Accessoires supplémentaires | PC industriel à montage en rack et accessoires (KMV), deux moniteurs de 27 po; poste de travail autonome; boîtier supérieur. |
| Licence dédiée au logiciel EXFO Pilot | Suite logicielle complète pour le flux de test et de mesure complets de PIC. Automatisation et contrôle de la station de test, des instruments et des données pour une traçabilité et une fiabilité absolues, ainsi que des résultats prêts à être rapportés et compatibles avec l'IA. Licences flottantes supplémentaires disponibles pour une collaboration multi-utilisateurs depuis n'importe où. |
| Sondes – tête électrique | Positionneurs de palpeurs électriques manuels 4 axes. Alignement précis et grande course. Supports de palpeurs compatibles avec la plupart des sondes DC et RF. Options : PRE-00 (manuel) et PRE-MO (motorisé, résolution 200 nm). |
| Sondes – tête optique (PRO-XX) | Hexapode motorisé à 6 axes, d'une précision nanométrique et à base piézoélectrique, pour un fonctionnement précis et rapide pour le couplage de bord ainsi que le couplage de surface. Comprend un point de pivotement virtuel, idéal pour l'optimisation de l'angle d'injection lors du couplage automatisé. Comprend une pince qui s'adapte à la plupart des réseaux de fibres et des connecteurs, un curseur et un système de vis manuelles pour basculer entre les positions engagée/désengagée. Autres options de têtes optiques disponibles (contactez un représentant EXFO). |
| Logiciel d'automatisation EXFO Pilot – aperçu | Plateforme logicielle orchestrant le flux complet des tests et mesures PIC : préparation des tests, exécution de la navigation, de l'alignement et des mesures entièrement automatisés à haut débit, analyse et gestion des données des résultats. Conçu pour être évolutif, avec automatisation des tâches et des mesures, multiples applications (PREPARE, EXECUTE, ANALYZE) et connexion à une base de données collaborative pour l'analyse avancée des données et l'IA. |
| Dimensions du système principal | Dimensions (H × L × P) : 1496 mm × 1448 mm × 1448 mm. |
| Masse | 1250 kg. |
| Température de fonctionnement | 18 - 22 °C. |
| Température d'entreposage | 0 - 40 °C. |
| Humidité de fonctionnement (RF) | 20 % - 60 %. |
| Humidité d'entreposage (RF) | 10 % - 70 %, sans condensation. |
| Base | Système de base fermé; base en granit pour l'isolation passive des vibrations; portes frontales et planche à pain optique frontale amovible pour le chargement des wafers; plaque d'éveil optique; grille de trous de fixation filetés M6; espacement des trous de 25 mm; anodisé noir pour réduire les réflexions. |
| Ordinateur de bureau | 4U rackmount industriel, Intel i7 CPU, 64 Gb RAM DDR5, 1 Tb SSD, Nvidia RTX 4060 GPU, 3 ports Ethernet (10 + 2,5 + 1 Gbit/s), plusieurs ports USB, slots PCIe additionnels, Windows 11 Pro, souris et clavier inclus. |
| Écrans | 2 × 27 pouces. |
| Ports de communication supplémentaires | Ports sur la station de base pour l'équipement Ethernet Cat6 RJ54, USB-A 3.0. |
| Câbles, alimentation, entraînement, contrôleurs | Tous inclus. |
| a. Les sondes optiques (réseau de fibres, fibres) et les sondes électriques (DC, RF) ne sont pas incluses dans le système. Si ces composants sont nécessaires, veuillez contacter un représentant d'EXFO. | |