Spécifications complètes

OPAL-SD - Station de test semi-automatisée pour puce unique

Aperçu
Solution d'entrée de gamme, flexible, économique et évolutive. Alignement optique et test automatisés des circuits intégrés photoniques (PIC) avec des résultats traçables et consultables. Positionnement manuel de la puce et des sondes électriques.

Caractéristiques principales

  • Solution de niveau recherche pour le test et la caractérisation des PIC.
  • Conception flexible avec des têtes optiques et électriques RF/DC repositionnables.
  • Préparation, exécution automatisée (alignement, contrôle des instruments) et gestion des données (dépôt, analyse) avec le logiciel EXFO Pilot.
  • Différentes options de têtes optiques, selon les besoins : Jusqu'à 6 axes motorisés pour le couplage de surface et de bord avec des fibres simples ou des réseaux de fibres.
  • Positionneurs de sondage précis à courant continu et à radiofréquence.

Applications

  • Sondage optique et électrique du PIC et test au niveau de la puce, du module ou de la barre.
  • Pour la R&D, la vérification de la conception en petite quantité et le développement de tests.
  • Parfait pour les universités et les équipes R&D.
  • Tests optoélectroniques de plates-formes photoniques intégrées (ex. silicium photonique, phosphure d'indium, III-V, polymère, hétérogène).
  • Indépendant de l'application (ex. transpondeurs télécom et datacom, quantum, LIDAR, capteurs, IA).

Spécifications

Spécifications techniques
PLATINE DE BASE MONOBLOC, 4 AXES MANUELS
Trajectoire des axes X, Y (mm) 27
Trajectoire de l'axe Z (mm) 9
Trajectoire de l'axe Rz (degrés) 20
Déplacement/révolution des axes X et Y (mm) 0,3175
Déplacement/révolution de l'axe Z (mm) 0,085
Déplacement/révolution de l'axe Rz (degrés) 1,2
SPÉCIFICATIONS
Station de test standard Une station de test OPAL-SD standard comprend : un système de mouvement de platine OPAL-SD, un chuck TA, un système de vision supérieure et latérale, un PC avec licence logicielle PILOT et accessoires.
MANDRIN
Nom de l'option TA; TCH
Zone d'échantillonnage (TA; TCH) TA : 50 × 50 mm²; TCH : 50 × 50 mm²
Gamme de produits (TA; TCH) TA : Température ambiante; TCH : 0 °C à 120 °C (32 °F à 248 °F)
Résolution (TA; TCH) TA : 0,01 °C (32 °F); TCH : 0,01 °C (32 °F)
Stabilité (TA; TCH) TA : 0,05 °C (32 °F); TCH : 0,05 °C (32 °F)
Taux de chauffage (TA; TCH) TA : 40 °C/min (68 °F/min); TCH : 40 °C/min (68 °F/min)
Taux de refroidissement (TA; TCH) TA : –15 °C/min (14 °F/min); TCH : –15 °C/min (14 °F/min)
Zones de vide (TA; TCH) TA : 1 zone, contrôlée électroniquement; TCH : 3 zones de vide personnalisées, contrôlées électriquement
Surface électrique Surface électrique ancrée (triaxiale en option)
TÊTE OPTIQUE a – Options PRO-P60 / PRO-P40
Nom de l'option PRO-P60; PRO-P40
Axe motorisé (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : X, Y, Z, Rx, Ry, Rz; PRO-P40 : X, Y, Z, Ry (pas)
Axe manuel (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : -; PRO-P40 : Rx (lacet), Rz (roulis)
Type de moteur (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : Piezo, hexapode; PRO-P40 : X, Y, Z : servo CC; Ry : pas à pas
Trajectoire de l'axe X (mm) (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : 20; PRO-P40 : 25
Trajectoire de l'axe Y (mm) (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : 11; PRO-P40 : 25
Trajectoire de l'axe Z (mm) (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : 20; PRO-P40 : 4,8
Résolution de l'axe X (nm) (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : 1; PRO-P40 : 10
Résolution de l'axe Y (nm) (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : 1; PRO-P40 : 10
Résolution de l'axe Z (nm) (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : 1; PRO-P40 : 60
Répétabilité de l'axe X (nm) Unidirectionnel : 50; Bidirectionnel, typique : ±70
Répétabilité de l'axe Y (nm) Unidirectionnel : 50; Bidirectionnel, typique : ±70
Répétabilité de l'axe Z (nm) Unidirectionnel : 50; Unidirectionnel, typique : ±250; Bidirectionnel, typique : 100
Course de l'axe Rx (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : 23°; PRO-P40 : 10°
Course de l'axe Ry (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : 38°; PRO-P40 : 10°
Course de l'axe Rz (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : 26°; PRO-P40 : 360° approximatif, 10° d'écart
Résolution de l'axe Rx 0,04 arcsec; 0,00001°; 50,8 (TPI)
Résolution de l'axe Ry 0,04 seconde d'arc; 0,00001°; 4 secondes d'arc; 0,0002°
Résolution de l'axe Rz 0,04 arcsec; 0,00001°; 50,8 (TPI)
Répétabilité de l'axe Rx Unidirectionnel : 1,5 arcsec; 0,0004°
Répétabilité de l'axe Ry Unidirectionnel : 1,5 seconde d'arc; 0,0004°; Bidirectionnel, typique : 7 secondes d'arc; 0,0003°; Unidirectionnel, typique : 0,8 seconde d'arc; 0,0002°
Répétabilité de l'axe Rz Unidirectionnel : 1,5 arcsec; 0,0004°
Capacité de point de pivotement (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : Oui; PRO-P40 : Non
Orientations possibles (PRO-P60 / PRO-P40) PRO-P60 : Nord/Est/Ouest; PRO-P40 : Nord/Est/Ouest
Inclus Système de rail pour basculer en position engagée/désengagée, support de réseau de fibres et support de fibre unique, support pour réseau de fibres et contrepoids pour support de fibre unique
Options de la tête optique – ECO-30, 40, 60 (3, 4 ou 6 axes motorisés, à vis)
Trajectoire des axes X, Y, Z (mm) (ECO-30, 40, 60) 25 (X, Y), 12,5 (Z)
Résolution des axes X, Y, Z (nm) (ECO-30, 40, 60) 200 (X, Y), 25 (Z)
Répétabilité bidirectionnelle des axes X, Y, Z (nm) (ECO-30, 40, 60) Typique : 125 (X, Y, Z)
Précision des axes X, Y, Z (µm) (ECO-30, 40, 60) Typique : ±4 (X, Y), ±1,5 (Z)
TÊTE ÉLECTRIQUE – Options PRE-00 / PRE-MO
Nom de l'option PRE-00; PRE-MO
Type d'étapes de traduction (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : Manuel; PRE-MO : X, Y, Z motorisés, angle de sonde manuel
Plage de déplacement des axes X, Y (mm) (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : 48; PRE-MO : 25
Plage de déplacement de l'axe Z (mm) (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : 48; PRE-MO : 25
Résolution des axes X, Y, Z (nm) (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : -; PRE-MO : 200
Répétabilité des axes X, Y et Z (μm) (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : -; PRE-MO : 1, bidirectionnel, typique : 0,3
Précision des axes X, Y et Z (μm) (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : Typique : 2; PRE-MO : 5
Vitesse des axes X, Y, Z (mm/s) (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : -; PRE-MO : 0,4
Déplacement/révolution des axes X, Y, Z (mm/rév) (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : 0,3; PRE-MO : -
Course d'inclinaison (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : 10°; PRE-MO : 10°
Système de rail – Course X (mm) (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : 180; PRE-MO : 180
Course de l'échelon grossier Z (mm) (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : Min : 6.35; Max : 56; PRE-MO : Min : 6.35; Max : 57
Orientations possibles (PRE-00 / PRE-MO) PRE-00 : Nord/Est/Ouest; PRE-MO : Nord/Est/Ouest
SYSTÈME DE VISION DU DESSUS – Support de base mécanique
Montage Compatible avec les cartes optiques métriques et impériales, à 90° et 45°
Plage de déplacement des axes X, Y, Z (mm) 48
Déplacement/révolution des axes X et Y (mm) 1,41
Déplacement/révolution de l'axe Z (mm) 0,3175
SYSTÈME DE VISION DU DESSUS – Système de vision
Grossissement (X) 10
Ouverture numérique 0,28
Profondeur de champ (μm) 3,6
Champ de vision horizontal (mm) 0,88
Distance de travail (mm) 34
Résolution (MP) 2,9
Fréquence d'images maximale (fps) 144
Format du capteur (pouces) 2/3
Type de capteur Couleur, obturateur global, 12 bits
Longueur d'onde Visible
Type d'éclairage Unité de microscope vidéo en ligne, éclairage LED
SYSTÈME DE VISION LATÉRALE – Support de base mécanique
Positionnement mécanique Réglage grossier manuel 6D avec bras articulé, platine de translation manuelle XY
Montage Compatible avec les cartes optiques métriques et impériales, à 90° et 45°
Plage de déplacement des axes X, Y (mm) 48
Déplacement/révolution des axes X et Y (mm) 1,41
SYSTÈME DE VISION LATÉRALE – Système de vision
Type d'objectif Télécentrique
Grossissement a (X) 3
Ouverture numérique 0,093
Champ de vision (mm) 2,9 × 2,2
Distance de travail b (mm) 65
Plage de longueurs d'onde Visible
Résolution (MP) 2,9
Fréquence d'images maximale (fps) 144
Format du capteur (pouces) 2/3
Type de capteur Couleur, 12 bits, obturateur global
Longueur d'onde Visible
a. D'autres plages de température sont disponibles sur demande. b. Des modèles de vide personnalisés sont disponibles sur demande. c. Des plaques d'adaptation au vide génériques et personnalisées sont disponibles sur demande. d. Autres options électriques de surface disponibles sur demande : flottante, triaxiale. a. Les fibres optiques et les sondes électriques ne sont pas incluses avec les bras de sonde. b. Axes motorisés Rx (lacet) et/ou Rz (roulis) disponibles sur demande. a. Autres options de grossissement (0,5X, 1X, 2x, 4X, 6X, 8X) disponibles sur demande. b. D'autres distances de travail (40 mm, 110 mm) sont disponibles sur demande.
Spécifications générales
SPÉCIFICATIONS GÉNÉRALES – SYSTÈME PRINCIPAL
Taille (H × L × P) 1219 mm × 914 mm × 945 mm (48 po × 36 po × 37 1/4 po)
Poids (kg) a 160 kg (352,7 lbs)
Environnement opérationnel b Utiliser dans un environnement propre pour éviter les variations de température, les vibrations, l'humidité et la poussière. Une alimentation en air comprimé est nécessaire pour le mandrin.
Base Maquette de montage optique en nid d'abeille de haute qualité
Ordinateur de bureau Processeur Intel i7, 32 Go de RAM, SSD de 1 To, 2 ports Ethernet, plusieurs ports USB, Windows 11 Pro, souris et clavier inclus. Châssis de base disponible en option.
Écran 1 × écran de 27 pouces
Câbles, alimentation, entraînement, contrôleurs Tous inclus
Ports de communication supplémentaires sur la station de base pour l'équipement Ethernet Cat 6 RJ54, USB-A 3.0
Remarque : Utilisez le système dans un environnement à faible vibration. Une vibration excessive du sol ou acoustique peut avoir un impact négatif sur les performances du système. Bien que la base de la station inclut un système d'isolation passive des vibrations, le niveau de vibration attendu pour le fonctionnement de l'OPAL-SD doit être égal ou inférieur à la courbe de critères de vibration VC-A pour de meilleures performances, en particulier pour l'alignement de couplage sur le bord. La vitesse doit être inférieure à 50 μm/s, lorsqu'elle est mesurée par les bandes d'octave au tiers de fréquence entre 8 et 80 Hz. À ce niveau, les vibrations ne sont pas perceptibles. Sinon, contactez-nous pour plus d'informations sur un système d'amortissement actif des vibrations. a. La masse exacte du système principal dépend de la configuration choisie. b. Utilisez le système dans un environnement contrôlé. Les variations de température de l'environnement dégraderont les performances.